气体原料制出1立方厘米级单晶金刚石

关键词 CVD , 单晶金刚石|2019-04-04 09:06:03
摘要 日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法,首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料,制作出全球最大级的高品质...

日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法,首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料,制作出全球最大级的高品质晶体,这一成果是向实现大型晶圆迈出的重要一步。

功率半导体广泛应用于电力基础设施、汽车、铁路车辆、工业设备及家电等各种产品和设备,是支撑这些产品和设备实现高性能化及节能化的重要器件。此次的成果不仅能应用于功率半导体等电子领域,预计还可应用于自旋电子领域。金刚石能在室温和常压下处理空间分辨率较高的量子彩民彩票等,因此有望进一步提高传感器和量子计算设备等的性能。


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