气体原料制出1立方厘米级单晶金刚石

关键词 CVD , 单晶金刚石|2019-04-04 09:06:03
摘要 日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法,首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料,制作出全球最大级的高品质...

日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法,首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料,制作出全球最大级的高品质晶体,这一成果是向实现大型晶圆迈出的重要一步。

功率半导体广泛应用于电力基础设施、汽车、铁路车辆、工业设备及家电等各种产品和设备,是支撑这些产品和设备实现高性能化及节能化的重要器件。此次的成果不仅能应用于功率半导体等电子领域,预计还可应用于自旋电子领域。金刚石能在室温和常压下处理空间分辨率较高的量子香港马会开奖直播等,因此有望进一步提高传感器和量子计算设备等的性能。


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